东方微电 BD系列豪华探针台显微镜

台湾奕叶EB系列探针台高精度大旋钮探针台，可兼顾直流和射频应用，针座平台可上下升降，加装探针卡使用。

一、显微镜操控规格:

1. 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。

2. 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1μm。

3. 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。

二、台面规格:

1. 探针台台面平整度：5μm。

2. 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。

3. 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位。

三、卡盘（载物台，即图中的chuck）规格:

1. 6"卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），zui小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，zui大能够吸住尺寸为6"X6"。

2. 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋。

3. 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。

四、总体规格：

1. 重量：50kg（含显微镜）

2. 尺寸：590mm宽*500mm长*700mm高（含显微镜）

3. 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作 

五、性能

1. 镀金真空吸附卡盘:对应可选4" ，6"，8"，12"产品

2. 大旋钮移动卡盘台，X-Y方向行程：6"-6"

3. 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品

4. 线性无回差调节

5. 台面快速升/降行程：6mm，精调升/降行程：25mm

6. 样品尺寸: 5x5mm ~4" 6", 8", 12"

7. 卡盘平整度:10um

8. 卡盘旋转角度：0~360°

9. ChuckTheta: ±15

10. 大旋钮滑台X-Y方向精度:1um

11. 台面上/下升降摇杆/旋钮

12. 显微镜倾仰装置