用于微磁传感器的非晶丝主要有两种,一种是水纺丝,另一种是玻璃包覆非晶丝。水纺丝的直径较大(125μm),需要拉拔成细丝使用;玻璃包覆非晶丝的直径较小,通过一道工序就能够制备成10-50μm的细丝。随着器件的小型化,目前的微磁传感器多数采用玻璃包覆非晶丝。典型的玻璃包覆非晶丝的形貌如图1所示,芯部为非晶合金丝,外皮为玻璃。
图 1 玻璃包覆非晶丝的显微形貌
用于微磁传感器的钴基非晶丝的典型性能如表 1 所示,其中 Hk 为非晶丝的磁各向异性场,该数值对应于微磁传感器的量程,如Hk为 0.2 Oe,那么所制成的微磁传感器的量程约为±0.2Oe。
表1 用于微磁传感器的钴基非晶丝的典型性能