卫生级管管自动焊机在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水;在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。与气体管路相似,输送这些超纯水的管路以及管路连接质量也同样至关重要。它需要在输送内部超纯水的过程中,确保流体的纯净度不变。
法泽尔封闭式卫生级管管自动焊机AS系列,专为不锈钢,钛合金,镍基合金薄壁管焊接而设计,可满足半导体行业管路所有连接技术要求,获得优良焊接质量。可焊管外径范围:6-165mm。用于管对管,管对弯头焊接。
半导体生产中需要应用到各种各样的高纯气体,以芯片制造为例,他们在生产芯片的薄膜,刻蚀,掺杂,气相沉积,和扩散过程中,都少不了电子气体。它的纯度和洁净度直接影响到所生产元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着产品的性和准确性,而输送这些气体的管路以及管路连接质量就变得至关重要。
基本要求
– 管道内部流体输送过程中,流体的纯净程度不会有任何影响,例如:颗粒物,湿度方面。
关键因素
– 母材的选择 (母材在耐腐蚀性能方面的影响,大部分是有毒和腐蚀性气体)
– 管子质量(生产的类型,表面,公差)
– 连接技术(仅允许焊接,带背气保护TIG轨道式焊接)
– 手持式管管自动焊机通过过程控制和可追溯文档来确保质量(每一焊道的实时参数归档,视觉控制,内窥镜检查)
连接技术
– 组对小错变量
– 焊接气体及背保护气的前送气和后送气时间
– 无凹陷、裂纹、气孔等焊接缺陷
– 焊缝银白色或金黄色
– 手持式管管自动焊机封闭式焊机确保佳气保护效果(无氧化)
– 轨道式焊接控制所有焊接参数
– 光滑的内部焊接质量
– 脉冲技术可以很好地控制热输入量
– 轨道式焊接确保优越的焊缝冶金性能
法泽尔封闭式管管自动焊机TIG焊接机头专为半导体微电子行业手持式管管自动焊机自动焊接而设计,可满足以上所有连接技术要求,获得优良焊接质量。配有独特可拆卸夹具,确保完美管端对中和较直,以及焊后管线所要求直线度。