四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,简称TMAH)是一种有机化合物,化学式为C4H13NO,分子量约为91.152。它是一种无色结晶性粉末,具有氨臭味,并且可溶于水和乙醇。四甲基氢氧化铵的熔点在68至71℃之间,沸点约为110℃。它是一种有机强碱,其水溶液广泛应用于电子行业的图形转移工步,如半导体芯片制造和液晶面板制造的光刻工艺中,作为显影液使用。它还可作为清洗剂和工业用的催化剂等
四甲基氢氧化铵的制备方法有多种,其中一种是采用电解法制备。电解法中,四甲基氯化铵为原料,在电解槽中通过电化学反应生成四甲基氢氧化铵。这种方法制备的四甲基氢氧化铵质量较好,成本低,且无环境污染
在使用和储存四甲基氢氧化铵时,需要注意其强碱性和腐蚀性,以及它与空气中的二氧化碳反应的特性。应采取适当的安全措施,如穿戴适当的防护装备,远离火源和氧化剂等