分子级化学污染物AMC与空气化学过滤器
张凯
摘要 简要阐述了空气中分子级化学污染物AMC的来源与特性，采用理论研究和实验测试相结合的研究方法，测试了控制AMC的关键设备——空气化学过滤器对于SO2，NH3的去除效率，着重研究上游浓度、温度、湿度、风量（面风速）对于上述两种气体去除率的影响，所获得的结论可以为AMC控制、化学过滤器的研发与应用提供参考。
关键词 分子级化学污染物AMC 空气化学过滤器 去除率测试
1 前言
当今信息社会中，半导体制造工业成为战略性的基础工业，其技术水平已成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志。对半导体制造工业来说，空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质，称为分子级污染物或气载分子污染物AMC(Airborne Molecular Contaminants)。目前对于AMC的防范，关键技术之一是使用空气化学过滤器。同时由于石化工业的发展，环境污染物也逐渐呈现多样性，除半导体工业外，生活环境、作业环境安全、环境保护等都面临类似的气态分子污染的问题，因此，在可预见的未来，空气化学过滤器的应用将会越来越普遍。
目前国内关于空气化学污染的控制主要集中在高浓度或排气污染物的脱除方面的技术开发。我国虽然半导体产品市场巨大，半导体制造工业也发展迅速，但是目前关于空气分子污染物的控制技术主要由国外企业掌握和控制，绝大部分市场也由国外厂商控制，所有配套产品的价格也由外资厂商垄断控制。国外由于半导体工业、环保工业的发展，空气化学过滤器去除分子态污染物的技术已经非常成熟。国外某些大的厂家具有完备的检测技术装备，我国空气化学过滤器市场每年以两位数的速度增长，但是对于化学过滤器的性能检测，jinxian于对材料样品的测试，但是对于全尺寸产品的测试，目前国内还没有哪个厂家或机构具有相应的测试手段。
