洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,洁净厂房设计施工,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净技术
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染。人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);每天脱落6~13克表皮细胞,洁净厂房装修,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,洁净厂房施工,经测试,作业人员占80%。十万级GMP洁净车间对不同的对象,武汉洁净厂房,有不同的玷污物控制要求。
洁净厂房也叫无尘车间、洁净室(CleanRoom),是指将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
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