产品介绍
Y系列探针台适用于4至8英寸晶圆以及小尺寸器件的I/V、C/V、射频测试等；在半导体、微电子、化学、物理、材料等学科领域有着广泛的应用；Y系列探针台是一款基本型探针台，结构紧凑，操作方便，功能齐全，价格实惠，深受广大高校、研究所以及各大半导体公司研发部门欢迎。
产品特点
样品尺寸可测试4-8英寸晶圆；
可搭配单筒显微镜、体式显微镜；
可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等；
模块化设计，可满足客户定制化需求；
Y系列探针台 | |||||
功能/型号 | Y-4-MN | Y-4 | Y-6 | Y-8 | |
样品台尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | ||
样品吸附方式 | 真空吸附 | ||||
样品台旋转 | 360度旋转，±10度微调 | ||||
样品台升降 | 无 | 有,10mm升降行程 | |||
样品台行程 | 50mm*50mm | 100mm*100mm | 155mm*155mm | 210mm*210mm | |
样品台移动精度 | 10um | 2um | 10mm | ||
针座平台 | 方形结构 | U型结构，可兼容探针卡 | |||
显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜 | ||||
显微镜倍率 | Zui大200X | ||||
显微镜移动 | 绕立柱360度旋转 | ||||
探针座数量 | 4个 | 6个 | 8个 | 10个 | |
探针座移动行程 | 12mm*12mm*12mm | ||||
探针座移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | ||||
探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 | ||||
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/射频接头等 | ||||
探针 | 钨钢或者铍铜，针尖半径可选 | ||||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | ||||
其他附件 | 高温配置、镀金样品台、屏蔽箱、光学平台、转接头、转接线等 | ||||
注：参数仅供参考，具体需求可根据客户要求定制