坐标测量：
（1）设定测站点的三维坐标。
（2）设定后视点的坐标或设定后视方向的水平度盘读数为其方位角。当设定后视点的坐标时，全站仪会自动计算后视方向的方位角，并设定后视方向的水平度盘读数为其方位角。
（3）设置棱镜常数。
（4）设置大气改正值或气温、气压值。
（5）量仪器高、棱镜高并输入全站仪。
（6）照准目标棱镜，按坐标测量键，全站仪开始测距并计算显示测点的三维坐标。
全站仪盘左盘右：对于靠角度确认盘左和盘右可能存在某些错觉，例如某些连接陀螺仪的全站仪或者经纬仪，在确定盘左和盘右时显示的不一定是对应。就是说相对180度角度数值而已往小向转不一定是盘左。反正，全站仪厂家，用户记住两者的差值即可。仪器也是自动求算的，对工程测量结果没有影响。
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全站仪的测距模式有精测模式、跟踪模式、粗测模式三种。精测模式是常用的测距模式，测量时间约2.5S，显示单位小至1mm；跟踪模式，常用于跟踪移动目标或放样时连续测距，显示一般小至1cm，每次测距时间约0.3S；粗测模式，测量时间约0.7S，显示单位1cm或1mm。在距离测量或坐标测量时，可按测距模式（MODE）键选择不同的测距模式。
应注意，有些型号的全站仪在距离测量时不能设定仪器高和棱镜高，显示的高差值是全站仪横轴中心与棱镜中心的高差。
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