烯烃类：
乙烯（C2H4）、（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、异丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、顺-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、（C2H3Cl）等；
炔烃类：
（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基（C3H4）、乙烯基（C4H4=≡）等；
其他：
二（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸剂（C2H4O-CO2)等
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，氩气销售，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
常见高纯气体的用途
环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；
氯是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；
氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、抗震剂、局部麻l醉剂；
二可作喷气推进剂、制冷剂、麻l醉剂；甲硫醇用于合成染料、医l药、农l药；
可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基主要作为氯丁橡胶原料等
高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程，生产过程中将有冷量损失，有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失；有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程，但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机，取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。无膨胀机的高纯氮气生产装置的液氮补充量约占高纯氮气产量的3%左右整套高纯氮气现场生产装置除了空气压缩机、热部、冷箱之外，还有一个重要的部分即液氮（或高纯液氮）系统。这个液氮（或高纯液氮）系统有三个功能；可补偿生产过程中的冷损；用气量的调峰，氮气生产装置停机是产品气的备用。
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